電子顯微鏡的“指揮棒”:深入解析掃描系統的工作原理
2025-09-11
掃描系統作為電子顯微鏡的“指揮棒”,通過精準控制電子束在樣品表面的掃描路徑,實現微觀形貌的高分辨率成像,其工作原理可拆解為以下核心環節:一、電子束的生成與聚焦電子槍(如熱發射槍或場發射槍)發射高能電子束,經電磁透鏡系統聚焦后,形成直徑僅5-10納米的細束。這一過程類似于光學顯微鏡中光源的準直,但電子束的波長更短(加速電壓下波長可達0.01納米級),為高分辨率成像奠定基礎。二、掃描系統的動態控制末級透鏡上方的掃描線圈是系統的“指揮中樞”。通過向線圈輸入鋸齒波電流,電子束在樣品表...